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【嘉儀通系列產品專題一】材料科研選擇——薄膜熱導率測試系統

分類：品牌故事
作者：嘉儀通科技
來源：本站
發布時間：2017-12-25
訪問量： 925

【概要描述】日前，3家國內一流科研機構已經選擇了嘉儀通的薄膜熱導率測試系統作為其薄膜材料熱導率測試的···

【嘉儀通系列產品專題一】材料科研選擇——薄膜熱導率測試系統

【概要描述】日前，3家國內一流科研機構已經選擇了嘉儀通的薄膜熱導率測試系統作為其薄膜材料熱導率測試的···

分類：品牌故事
作者：嘉儀通科技
來源：本站
發布時間：2017-12-25
訪問量： 925

詳情

日前，3家國內一流科研機構已經選擇了嘉儀通的薄膜熱導率測試系統作為其薄膜材料熱導率測試的專業儀器，還有數十家大專院校與科研院所正在與嘉儀通洽談選購。嘉儀通薄膜熱導率測試系統已成為國內科研機構的選擇！

薄膜熱導率測試系統采用3ω測試方法，有效克服了樣品表面熱輻射現象，能夠良好測試微/納米薄膜材料的熱導率。可廣泛應用于輔助各種功能薄膜材料的研究與開發，涵蓋范圍包括集成電路散熱材料、航空航天材料、熱電材料與器件、信息存儲與光電器件等。目前，已贏得了包括中國科學院上海微系統與信息技術研究所、嘉興學院以及第三方檢測機構等單位一致認可。

“3ω測試方法”

樣品表面光刻金屬條，在金屬條兩端通頻率為ω的電流，金屬條中間兩電極產生一個頻率為 3ω 的小電壓信號V_3ω。由 V_3ω間接推導出熱導率。

“產品詳情”

一.可測試薄膜材料的熱導率

1. 本系統不直接測量溫度變化，而是通過測量材料在導熱過程中溫度的變化轉換為的電信號的變化來實現微/納米薄膜材料的熱導率，微伏級電壓值，保證測量結果的高精確度；

2. 采用交流電加熱方式，同時選擇并優化設計加熱電極的形狀與尺寸，可保證加熱均勻性及測試應用的廣泛性、準確性與穩定性；

3. 采用3ω測試方法，可以有效克服樣品表面熱輻射現象。

二.系統實現自動調節功能

1. 在常規測試方法下可實現自動化調節電阻值；

2. 系統配合軟件可實現自動化電橋平衡；

3. 操作安全便捷，優化用戶體驗。

三.專業化薄膜熱導測試軟件

獲得國家軟件著作權保護（登記號：2016SR273937）

1. 可實現常溫、變溫下的襯底熱導率、樣品熱導率和襯底熱擴散系數等自動測試；

2. 實現一鍵電橋平衡功能，并且在變溫條件下可自動測試金屬電阻系數；

3. 可以分析熱導率和溫度T的變化曲線；

4. 可快速查看結果并自動保存Excel格式文件；

5. 規范化軟件界面，操作便捷，可快速中英文切換。

“成功案例”

中國科學院上海微系統與信息技術研究所

中國科學院上海微系統與信息技術研究所原名中國科學院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是中國最早的工學研究機構之一。

2017年12月20日武漢嘉儀通科技有限公司的“薄膜熱導率測試系統（TCT）”在上海完成儀器的安裝調試和講解培訓工作，并順利通了產品驗收，正式交付于中科院上海微系統所使用！通過幾個月的使用中科院上海微系統所對嘉儀通產品表示認同，嘉儀通產品可以直接測量微納米尺度薄膜材料熱導率。

嘉興學院

嘉興學院（Jiaxing University），簡稱嘉院，是2000年3月經國家教育部批準，由原浙江經濟高等專科學校和嘉興高等專科學校合并組建的普通本科高校，實行“省市共建共管，以省為主”的管理體制。

2017年10月28日武漢嘉儀通科技有限公司的“薄膜熱導率測試系統（TCT）”在嘉興學院-機電工程學院完成儀器的安裝調試和講解培訓工作！通過幾個月的使用機電工程學院老師表示嘉儀通此刻產品可以直接測量納米級薄膜材料熱導率，解決了他們的一大難題再次表示了對嘉儀通的認同。

中國工程物理研究院

中國工程物理研究院(China Academy Of Engineering Physics)，簡稱"中物院"，是國家科研計劃單列的中國唯一的核武器研制生產單位，是以發展國防尖端科學技術為主的集理論、實驗、設計、生產為一體的綜合性研究院。

2017年6月嘉儀通科與中國工程物理研究院簽訂薄膜熱導率測試系統（TCT）購貨合同，亟待交付使用。

“技術參數”

型號	TCT-3CL	TCT-3RT	TCT-3HT
溫度范圍	150K~RT	RT	RT-500K
測試對象	半導體薄膜、導電薄膜、絕緣薄膜等
熱導率測量范圍	0.1-10W/（m·k）
測試精度（熱導率）	±5%(在Si上測量)，±10%（其他）
適合氛圍	真空
樣品尺寸	長 x 寬：(5-10)x(5-10)，單位mm,薄膜厚度≥10nm
其他注意事項	測量導電薄膜時，需要沉積絕緣層（推薦：SiO₂），薄膜表面要非常光滑，確保絕緣層不漏電；襯底熱導率要遠大于薄膜熱導率，推薦使用Si、AIN等高熱導襯底。
主機尺寸	710 x 600 x 490，單位mm
重量	80kg