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快速退火爐的類型和特點
- 分類： 行業知識
- 作者：超級管理員
- 來源：本站
- 發布時間：2022-09-30
- 訪問量： 711
【概要描述】 快速退火爐是用于制造半導體器件的工藝，包括加熱多個半導體晶···
快速退火爐的類型和特點
【概要描述】 快速退火爐是用于制造半導體器件的工藝，包括加熱多個半導體晶···
- 分類： 行業知識
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快速退火爐是用于制造半導體器件的工藝，包括加熱多個半導體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或晶片襯底界面，密集沉積薄膜，改變生長薄膜的狀態，修復注入的損傷，將摻雜劑從一個薄膜移動或轉移到另一個薄膜，或者從薄膜進入晶片襯底。
那么快速退火爐有哪些類型呢？
一、鋁合金快速退火爐。
主要用于鋁合金、鋁板的熱處理和均熱退火。
鋁合金快速退火爐由臺車爐體、循環系統、導流設備、加熱元件、裝料臺車、爐門升降機構和電氣控制系統組成。
二、井式真空快速退火爐。
適用于圓線材和鋼帶退火。真空加熱退火，不滲氮不脫碳，使工件退火后保持光亮。真空快速退火爐主要由爐體、爐襯、真空泵、循環風機和電氣控制系統組成。
三、多管不銹鋼絲光亮快速退火爐。
它由加熱爐、冷卻器、放卷機構和電控系統組成。
主要適用于不銹鋼絲、銅線、鐵絲等的光亮退火。
四、井式快速退火爐。
適用于圓線材和不銹鋼線材，拉伸前退火，氧化少，無脫碳，使工件退火后保持整齊。特點：可配置多臺爐，多工位操作可節省人力資源，提高生產效率，節約能源，降低生產成本。
五、臺車式快速退火爐主要用于銅排、鑄鋼件、汽車零部件、軋輥、鋼球、金屬結構件及焊件的正火及退火熱處理。臺車式快速退火爐主要由爐門升降和密封設備、爐車、爐車傳動機構、電加熱設備和溫度控制系統組成。可在水平地面上使用，無需基礎安裝。
六、罩式快速退火爐。
該設備可廣泛用于有色金屬銅、鋁合金、黑色金屬、普碳鋼、硅鋼、合金鋼及其他卷、卷、線等的退火。沒有氮化和脫碳，使工件退火后能保持整齊。該快速退火爐具有生產效率高、產品質量好、能耗低、無污染、自動化操作、安全可靠等優點。罩式爐由加熱罩、兩個爐座、閥門框架和電氣控制系統組成。
七、網帶式不銹鋼快速退火爐。
它由進料臺、加熱區、冷卻段、氨分解爐、電氣控制系統等部分組成。主要適用于各種不銹鋼、銅、鐵制品在保護氣氛控制下的連續光亮退火和固溶處理。
八、嘉儀通科技快速退火爐
嘉儀通科技快速退火爐RTP-3-04系列采用紅外輻射加熱技術，可實現大尺寸樣品（4英寸樣品）快速升溫和降溫，同時搭配超高精度溫度控制系統，可達到極佳的溫場均勻性，對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產工作起到重要作用。
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