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良心國貨!嘉儀通科技快速退火爐簡介及其應用
- 分類: 行業知識
- 作者:嘉儀通科技
- 來源:本站
- 發布時間:2022-06-01
- 訪問量: 1004
【概要描述】一、原理參數均采用紅外加熱方式對爐腔輻射加熱,PID模糊控制實現溫度升降及保持。能完成特定條件下的熱···
良心國貨!嘉儀通科技快速退火爐簡介及其應用
【概要描述】一、原理參數均采用紅外加熱方式對爐腔輻射加熱,PID模糊控制實現溫度升降及保持。能完成特定條件下的熱···
- 分類: 行業知識
- 作者:嘉儀通科技
- 來源:本站
- 發布時間:2022-06-01
- 訪問量: 1004
一、原理參數
均采用紅外加熱方式對爐腔輻射加熱,PID模糊控制實現溫度升降及保持。能完成特定條件下的熱處理工藝來改變消除材料或晶圓內部缺陷,從而改善其性能。
適用場景:注入離子后的擴散退火、電極合金化、快速熱退火、熱氧化和熱氮化、薄膜CVD生長、晶向化和堅化、石墨烯等氣相沉積、ITO膜致密化、器件退火等
快速退火爐系列技術參數一覽表
二、部分客戶案例及使用場景
合作使用單位:
·清華大學 ·浙江大學 ·中國科學院深圳先進技術研究院
·華中科技大學 ·華南理工大學 ·北京大學深圳研究生院
……
三、部分相關文獻
四、關于公司
武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,是以薄膜物性測量儀器作為戰略定位,技術自主創新的高新技術企業。公司集快速退火爐,霍爾效應測試,RTP,RTA,RTO,熱電參數測試,Seebeck系數測試,電導率測試,熱導率測試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導體工藝設備的研發、市場和技術服務于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業。
公司始終堅持自主研發與應用創新,擁有自己的技術工程師研發團隊,建有省級工程實驗室、新型研發機構以及市級企業技術中心平臺,擁有知識產權100多項,主持承擔參與了10余項科技攻關項目。2020 年,公司研發的“薄膜材料熱特性測試技術及儀器”技術與產品榮獲了“湖北省技術發明一等獎”。核心序列產品廣泛應用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構和工業企業等細分領域,并服務于國內外近500家客戶。其中包括華為海思半導體公司、長江存儲公司、三安光電、天馬微電子、武漢光迅等半導體工業企業;清華大學、國防科技大學、北京航空航天大學、武漢大學等大專院校;綿陽九院、中科院化 學所、中科院電工所、中科院物理所等科研院所;中國計量科學研究院、國家石墨烯質檢中心等第三方檢測機構。除此之外,核心產品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、臺灣等20多個國家和地區,實實在在為新材料的科研和生產創造了價值。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數據分析,為全球用戶的薄膜技術研究及戰略方向提供理論依據與數據支撐。
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